1.偏移误差。

因为压力传感器在整个压力范围内垂直偏移不变，所以变换器扩散的变化以及激光调整校正都会产生偏移误差。

2.灵敏度错误。

所产生的误差与压力成比例。若装置的灵敏度高于典型值，则灵敏度误差随压力增加。若敏感度低于标准值，则敏感度误差为压力递减函数。这种误差是由于扩散过程的改变所致。

3.线性误差。

这种误差对压力传感器初值影响不大，主要是由于硅晶片的物理非线性，而对于具有放大器的传感器来说，其非线性也应该考虑到。直线误差曲线可以是凹曲线或凸曲线。

4.滞后误差。

多数情况下，由于硅片具有很高的机械刚度，压力传感器的滞后误差完全可以忽略。通常，只要考虑到压力变化很大的情况下的时滞误差